风机的动力作用：FFU内部的风机是整个空气过滤流程的动力源。具有寿命长、噪音低、免维修、震动小、可无级调速等功能，风机通过旋转产生吸力，像在电子洁净车间中的FFU风机，可以将空气（风）吸入FFU内部，风机的转动动力开启了空气在FFU内的循环之旅，并且其持续稳定的运行确保了整个空气过滤工作能不断进行。

空气的吸入与混合

新风吸入：风机将新风由管道送入过滤单元内部。这里的新风是指从外界或特定风道引入的新鲜空气，含有各种尘埃颗粒等杂质。在半导体制造的洁净厂房中，有专门的新风供应系统为FFU提供新风源。

回风混合：新风进入FFU内部后，在静压箱内和原本里面的回风进行混合。回风是在洁净室内经过使用后，又返回到FFU继续参与循环的空气。

在一些制药车间，洁净室内的空气在经过一轮工作区域的循环后，部分回风会被送回到FFU的静压箱中与新风混合，这样重新混合的空气可以再次被利用净化，而不是直接排出，提高了空气的利用率，降低了能耗和新风补给的压力。

过滤过程

初效过滤：混合后的空气首先会经过初效过滤器。初效过滤器的主要作用是初步过滤掉较大的颗粒，如毛发、大灰尘等物质。在一些环境相对较好，尘埃颗粒主要为大粒径灰尘的场所，初效过滤器可以有效拦截大部分灰尘，减轻后续高效过滤器的工作负荷。

高效过滤：经过初效过滤后的空气再进入高效过滤器（如HEPA或ULPA过滤器）。HEPA过滤器能够有效过滤空气中0.3μm - 0.1μm甚至更小的微尘、细菌和病毒等微小颗粒物。

在医院的手术室中，HEPA过滤器可以将手术室内空气中可能存在的细菌、病毒等微小污染物过滤掉，确保手术环境的洁净度。ULPA超高效过滤器则能实现更高标准的过滤，对于更小粒径的颗粒如0.01μm - 0.05μm的污染物有着很高的过滤效率，在一些对空气质量要求极高的精密仪器制造车间或者高级别的生化实验室等场景下发挥关键的过滤作用。

洁净空气的送出与循环

送出洁净空气：经过高效过滤后的洁净空气在整个出风面以一定的风速均匀送出，例如以0.45m/s±20%的风速均匀送出到洁净室内。这种均匀的送风能够使洁净室内的空气净化效果更加均衡，能全面覆盖工作区域，避免出现净化盲区。在电子产品组装车间，均匀送出的洁净空气能确保在组装过程中，电子零部件不会被灰尘污染而影响性能。

空气的循环：从FFU送出的洁净空气在洁净室内流动后，会通过架空的地板回到干盘管，在这里进行冷处理或者热处理后，又被再次送到静压箱进行下一轮的循环。就像在一些大型的工业洁净厂房中，洁净空气在经过生产设备和工作区域后，携带产生的热量或者杂质到达架空地板的回风口，然后回到干盘管进行温度调节和杂质处理后，再返回静压箱重新进入循环。