原理与尘源：计数扫描法的尘源可采用液态或固态气溶胶，如DEHS、DOP、聚苯乙烯小球、大气尘等。可对被测试过滤器的局部透过率进行试验，通过衡量其是否超过所允许的限值来判断过滤器是否存在局部渗漏缺陷。也可使用光学粒子计数器对高效及超高效过滤器进行定性扫描检漏。当大气尘浓度足够大时，可选择大气尘作为定性扫描检漏试验的测试气溶胶。

测试条件：检漏试验应在过滤器额定风量下进行，采样口与过滤器端面应保持1 - 5cm的距离。当检漏采样流率大于2.83L/min时，扫描速度不应超过8cm/s；当检漏采样流率小于等于2.83L/min时，扫描速度不应超过2cm/s，对整个过滤器被检面扫描。

原理：高效过滤器的检漏通常采用PAO发生器在滤器上游发尘，使用气溶胶光度计检测滤器上下游气溶胶浓度来判定滤器是否有泄漏。发尘的目的是因高效过滤器上游尘粒浓度较低，仅用粒子计数器在不发尘的情况下检测，较难发现有泄漏，需补充发尘才能明显、容易地发现泄漏。当气流被真空泵抽至光散射室时，其中的颗粒物质散射光线至光电倍增管。在光电倍增管中，光被转换成电信号，此信号经放大和数字化后由微处理器分析，从而测定散射光的强度。通过与参比物质产生的信号的对比，可以直接测量气体中颗粒物质的质量浓度。

材料仪器准备：需要尘源（PAO溶剂）、气溶胶发生器、气溶胶光度计（如PM - 350型光度计，动态测量范围为0mg/m³ - 120mg/m³）。

上游气溶胶准备：在待测HEPA上游一侧引入PAO气溶胶，一般情况下，保持上游气溶胶达到要求浓度，且浓度波动在一定范围即可。按照气溶胶发生器操作要求调节发生的气溶胶浓度，使上游气溶胶浓度达到10 - 20ug/mL。

光度计初始化：气溶胶光度计初始化、设定100%、0%参比标准值按照气溶胶光度计操作要求进行初始化、设定报警值。将UPSTREAM采样管与上游采样口相连，测量上游气溶胶的浓度。

扫描检漏：卸下HEPA的散流板，对整个滤器面、滤器与边框之间、边框与边框之间以及边框与静压箱之间的密封进行扫描。扫描时采样头距滤器面约1英寸（约2.54cm），扫描速度不超过5cm/s。扫描按直线来回往复地进行，线条间应重叠。检查一个过滤器约为5min左右，在测试的过程中，应经常确认上游气溶胶的浓度，注意在检测过程中应带防护面罩和防护眼罩。

操作方法：将过滤器水平放在风口上，四周密封，用喷雾器发生气溶胶，使气溶胶粒子质量平均直径为0.3µm - 1.0µm。用灯光垂直照射过滤器出风面，过滤器四周及观察背景应是黑暗的，注意屏蔽掉过滤器周围的干扰气流，通过目测观察高效过滤器有无渗漏。